偏摆检查仪规格

中心高

测量长度

精度

平行方向μm

垂直方向μm

3017

170

300

≤3

≤3

3020

220

300

≤3

≤3

5017

170

500

≤5

≤5

5025

250

500

≤5

≤5

10017

170

1000

≤8

≤8

10030

300

1000

≤10

≤8

15025

250

1500

≤10

20030

300

2000

≤30

≤20